KLA Corporation 是全球領先的半導體檢測與量測設備供應商，成立于1976年，總部位于美國加利福尼亞州米爾皮塔斯（Milpitas）。公司專注于芯片制造過程中的缺陷檢測、計量和過程控制，客戶包括臺積電（TSMC）、三星（Samsung）、英特爾（Intel）等頂級半導體廠商。
核心技術：晶圓檢測、光刻量測、缺陷分析、大數據過程控制。
行業地位：全球半導體檢測設備市場占有率超過50%，是行業絕對領導者。
產品應用：覆蓋邏輯芯片、存儲芯片、先進封裝、化合物半導體等制造環節。
WaferSight 5 是KLA推出的高精度晶圓振動監測系統，用于半導體制造設備（如光刻機、CMP）的振動分析與控制，可提升晶圓加工精度和良率。
| 型號 | 測量維度 | 適用場景 |
|---|---|---|
| WS5-100 | 單軸（Z方向） | 垂直振動監測（如CMP拋光機） |
| WS5-200 | 雙軸（X/Y方向） | 水平振動監測（如光刻機平臺） |
| WS5-300 | 三軸（X/Y/Z） | 全向振動分析（高精度設備校準） |
| 型號 | 帶寬 | 分辨率 | 特點 |
|---|---|---|---|
| WS5-500HF | 0-10 kHz | 0.1 nm | 高頻振動監測（適用于EUV光刻機） |
| WS5-600UPM | 0-20 kHz | 0.05 nm | 超精密模式（3D IC封裝監測） |
| 型號 | 工作溫度 | 防護等級 | 適用環境 |
|---|---|---|---|
| WS5-400CLEAN | 15-28°C | ISO Class 1 | 潔凈室專用（防微粒污染） |
| WS5-450VAC | 10-40°C | IP54 | 真空兼容（蝕刻/沉積設備） |
| 型號 | 功能 |
|---|---|
| WS5-SW | 分析軟件（實時FFT/趨勢分析） |
| WS5-CAL | 校準套件（NIST可溯源） |
| WS5-MNT | 磁吸/真空安裝支架 |
其他注意事項：
更詳細的技術資料需通過提供項目詳情獲取，歡迎咨詢。
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