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比利時LMS International公司及納米級振動傳感器產品介紹
2025-05-23
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        LMS International(現為Siemens Digital Industries Software旗下品牌)成立于1976年,總部位于比利時魯汶(Leuven),是噪聲與振動測試(NVH)結構動力學分析機電系統仿真領域的全球領導者。2012年,LMS被西門子收購,其技術整合至西門子數字化工業軟件解決方案中。

核心技術與應用領域

  • 高精度振動/聲學傳感器:納米級分辨率,適用于超精密測量

  • 測試與仿真軟件:LMS Test.Lab、LMS SCADAS硬件平臺

  • 行業應用:航空航天、汽車NVH、微機電系統(MEMS)、精密制造



LMS納米級振動傳感器產品型號整理

LMS的納米級振動傳感器主要用于超精密機械、光學平臺、半導體設備的微振動監測,分辨率達亞納米級(<1nm)

1. 核心型號(按測量原理分類)

(1) 激光多普勒 vibrometer(非接觸式)

型號量程分辨率帶寬特點
LMS LDV-100±1mm0.1nm0-25kHz單點測振,光學隔離設計
LMS LDV-200±5mm0.05nm0-50kHz高頻響應,適用于MEMS器件

(2) 電容式位移傳感器(接觸式)

型號量程分辨率線性度
LMS CDS-10±100μm0.5nm±0.1% FS
LMS CDS-20±500μm1nm±0.05% FS

(3) 壓電式加速度計(超微型)

型號靈敏度頻率范圍重量
LMS PA-1N100mV/g0.1-10kHz0.5g
LMS PA-0.5N500mV/g0.5-8kHz0.2g

2. 特殊應用型號

(1) 三向納米振動傳感器

型號測量維度適用場景
LMS 3D-NV100X/Y/Z光學平臺隔振評估
LMS 3D-NV200X/Y/Z+旋轉半導體光刻機振動分析

(2) 高溫/真空環境型號

型號環境適應性
LMS LDV-100HT-40°C ~ +300°C
LMS CDS-10VAC真空兼容(10^-6 mbar)

3. 配套系統組件

型號/名稱功能
LMS SCADAS Mobile便攜式數據采集前端
LMS Test.Lab振動分析與模態測試軟件
LMS CAL-NANO納米級校準系統(NIST可溯源)

技術亮點

  1. 亞納米分辨率:激光干涉技術確保0.05nm精度

  2. 抗干擾設計

    • 主動隔振光學臺兼容(ISO Class 1潔凈室標準)

    • 電磁屏蔽(EMC/EMI認證)

  3. 智能分析

    • 實時FFT/階次分析

    • 與西門子Simcenter 3D軟件無縫集成


其他注意事項:

更詳細的技術資料需通過提供項目詳情獲取,歡迎咨詢。

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